HORIBA研究級經典型橢偏儀UVISEL概述
20多年技術積累和發展的結晶,是一款高準確性、高靈敏度、高穩定性的經典橢偏機型。即使在透明的基底上也能對超薄膜進行樶精que的測量。采用PEM相位調制技術，與機械旋轉部件技術相比,能提供更好的穩定性和信噪比。
技術參數：
可選光譜范圍：
* UVISEL Extended Range(190nm -2100 nm) * UVISEL NIR (250 nm -2100 nm ) * UVISEL VIS (210 nm -880 nm ) * UVISEL FUV(190 nm -880 nm ) * UVISEL VUV(142 nm -880 nm ) * 多種實用微光斑尺寸選項 * 探測器：分別針對紫外，可見和近紅外提供優化的PMT和IGA探測器 * 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選 * 自動量角器：變角范圍35° – 90°，全自動調整，樶小步長0.01°
HORIBA研究級經典型橢偏儀UVISEL特點
★ 50KHz 高頻PEM 相調制技術，測量光路中無運動部件 ★ 具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率 ★ 具有毫秒級超快動態采集模式，可用于在線實時監測 ★ 自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、電化學反應池、液體池、密封池等多種附件 ★ 配置靈活
蘇公網安備 32050502000404號
